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■제품 개요
XY 에어 스테이지(다축 선형 위치 결정 시스템이라고도 함)는 두 개의 선형 모션 스테이지를 직교하는 형태로 적층한 정밀 위치 결정 플랫폼입니다. 구름 요소 또는 공기 베어링 가이드웨이를 사용하여 모션을 안내하고, 정밀 볼 스크류 또는 선형 모터를 구동 장치로 사용합니다. 고해상도 선형 스케일 또는 자기 스케일을 통합하여 정밀한 2차원 선형 모션을 위한 완전 폐루프 제어를 구현할 수 있습니다.
볼 스크류 구동 방식에서는 서보 모터가 볼 스크류를 회전시키고, 볼 너트가 회전 운동을 선형 변위로 변환합니다. 백래시를 최소화하고 ±0.5~1 μm의 반복 가능한 위치 정밀도를 달성하기 위해 예압이 있는 이중 너트 또는 고리드 볼 스크류를 사용할 수 있습니다. 선형 모터 구동 방식에서는 중간 기계식 전달 체인이 제거되어 탄성 변형과 마찰로 인한 히스테리시스가 감소합니다. 이를 통해 일부 구성에서는 2G를 초과하는 더 높은 가속도와 더 빠른 정착 시간을 구현할 수 있습니다.
교차 적층 구조는 컴팩트한 작업 공간을 제공하며, X축 가이드웨이가 Y축의 이동 베이스 역할을 합니다. 갠트리형 구조와 비교하여 전체 설치 공간이 크게 줄어듭니다. 또한 각 축을 독립적인 표준 모듈로 제작 및 유지 관리할 수 있어 시스템 통합 비용을 절감할 수 있습니다. 동작 축이 완전히 분리되어 있으므로 각 축의 정적 및 동적 강성을 독립적으로 최적화할 수 있습니다. 고강성 롤러 가이드웨이 또는 공기 베어링은 횡방향 하중에 대한 탁월한 저항성과 높은 직진성을 제공합니다.
정밀 XY 크로스 리니어 스테이지는 정밀 분배, 미세 부품 배치, 광학 정렬 및 검사, 웨이퍼 절단, 연구용 현미경 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다. 특히 높은 정밀도, 높은 청결도, 그리고 컴팩트한 설치 공간이 요구되는 자동화 장비에 적합합니다. 정밀 2차원 모션을 위한 컴팩트하고 비용 효율적인 솔루션으로서, 복잡한 다축 위치 결정 구조에 비해 간단하고 안정적인 대안을 제공합니다.
XY 에어 스테이지
