■Ürün Genel Bakışı
XY Hava Platformu, çok eksenli doğrusal konumlandırma sistemi olarak da bilinir ve birbirine dik olarak yerleştirilmiş iki doğrusal hareket platformunu üst üste çapraz bir konfigürasyonda entegre eden hassas bir konumlandırma platformudur. Hareket yönlendirmesi için rulmanlı veya hava yataklı kılavuz raylar, tahrik için ise hassas bilyalı vidalar veya doğrusal motorlar kullanır. Hassas iki boyutlu doğrusal hareket için tamamen kapalı döngü kontrolü sağlamak üzere yüksek çözünürlüklü doğrusal ölçekler veya manyetik ölçekler entegre edilebilir.
Bilyalı vidalı tahrikli konfigürasyonlarda, bir servo motor bilyalı vidayı döndürürken, bilyalı somun dönme hareketini doğrusal yer değiştirmeye dönüştürür. Geri tepmeyi en aza indirmek ve ±0,5–1 μm'lik tekrarlanabilir konumlandırma doğruluğu elde etmek için önceden yüklenmiş çift somunlar veya yüksek adımlı bilyalı vidalar kullanılabilir. Doğrusal motor tahrikli konfigürasyonlarda, ara mekanik iletim zinciri ortadan kaldırılır, bu da elastik deformasyonu ve sürtünme kaynaklı histerezisi azaltır. Bu, bazı konfigürasyonlarda 2G'yi aşan daha yüksek ivmelenmenin yanı sıra daha hızlı yerleşme süreleri sağlar.
Çapraz istiflenmiş mimari, X ekseni kılavuz rayının Y ekseni için hareketli taban görevi gördüğü kompakt bir çalışma alanı sağlar. Portal tipi yapılara kıyasla, genel kapladığı alan önemli ölçüde azalır. Her eksen ayrıca bağımsız, standartlaştırılmış bir modül olarak üretilebilir ve bakımı yapılabilir, bu da sistem entegrasyon maliyetlerini düşürmeye yardımcı olur. Hareket eksenleri tamamen birbirinden bağımsız olduğundan, her eksenin statik ve dinamik rijitliği bağımsız olarak optimize edilebilir. Yüksek rijitliğe sahip makaralı kılavuz raylar veya hava yatakları, yanal yüklere karşı mükemmel direnç ve yüksek hareket düzgünlüğü sağlar.
Hassas XY Çapraz Doğrusal Hareket Platformları, hassas dağıtım, mikro bileşen yerleştirme, optik hizalama ve inceleme, wafer kesme ve araştırma mikroskopisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle yüksek hassasiyet, yüksek temizlik ve kompakt kurulum alanı gerektiren otomatik ekipmanlar için uygundurlar. Hassas iki boyutlu hareket için kompakt ve uygun maliyetli bir çözüm olarak, daha karmaşık çok eksenli konumlandırma mimarilerine basit ve güvenilir bir alternatif sunarlar.

