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정밀 스테이지

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■제품 개요

 

정밀 스테이지는 초정밀 가공 및 첨단 제조 분야를 위해 개발된 고성능 모션 플랫폼입니다. 베이스와 갠트리 빔의 주요 구조 재료로 천연 화강암을 사용하고, 직접 구동 방식의 선형 모터 기술과 갠트리형 구조를 결합하여 고정밀 선형 운동을 구현합니다.

 

이 플랫폼은 일반적으로 다음과 같은 몇 가지 핵심 구성 요소로 이루어져 있습니다. 주요 기준 구조물 역할을 하는 정밀 화강암 베이스, 베이스 양쪽에 장착된 수직 기둥과 이 기둥들에 의해 지지되는 가로보로 구성된 갠트리 프레임, 가로보와 베이스에 각각 설치되어 선형 모터로 직접 구동되는 상하축, 그리고 위치 피드백 및 폐루프 제어를 위한 고정밀 선형 스케일이 있습니다. 고급 사양의 경우, 추력을 증가시키고 위치 오차 보정을 지원하기 위해 하축 양쪽에 선형 모터를 대칭으로 배치한 이중 구동 구조를 채택하기도 합니다.

 

이 플랫폼의 성능은 화강암 구조와 선형 모터 직접 구동 방식의 조합에서 비롯됩니다. 화강암은 내부 응력이 낮고 열팽창 계수가 강철의 약 3분의 1에 불과하여 온도 변화에 대한 민감도가 낮습니다. 또한, 선형 모터 직접 구동 방식은 스크류나 기어와 같은 기계식 변속 부품을 제거하여 기존 변속 시스템에서 발생하는 백래시, 탄성 변형, 마찰 및 기계적 마모를 방지합니다. 이 플랫폼은 스크류 구동 시스템에서 흔히 나타나는 스틱-슬립 현상 없이 속도 변동이 최소화된 부드러운 저속 주행을 제공합니다. 화강암 구조의 높은 강성과 탁월한 진동 감쇠 특성은 주행 중 발생하는 진동 에너지를 효과적으로 흡수 및 소산시켜 고속 및 고가속 주행 시에도 축 끝단 위치 정밀도를 유지하는 데 도움을 줍니다. 비접촉 구동 방식은 기계적 마모를 더욱 줄여 수명을 연장하고 유지보수 요구 사항을 낮춥니다.

 

높은 정밀도, 빠른 동적 응답 속도 및 장기적인 안정성을 결합한 정밀 스테이지는 반도체 제조 장비, 초정밀 CNC 가공, 정밀 계측, 평면 패널 디스플레이 제조, 레이저 정밀 가공 및 기타 고난도 모션 응용 분야에 널리 사용됩니다.

 

정밀 스테이지