■产品概述
XY气浮平台,又称多轴线性定位系统,是一种精密定位平台,它将两个正交排列的线性运动平台以堆叠十字形结构集成在一起。该平台采用滚动轴承或气浮轴承导轨进行运动导向,并结合精密滚珠丝杠或线性电机进行驱动。此外,还可集成高分辨率线性光栅尺或磁性光栅尺,以实现完全闭环控制,从而实现精确的二维线性运动。
对于滚珠丝杠驱动结构,伺服电机驱动滚珠丝杠旋转,滚珠螺母将旋转运动转换为线性位移。预紧双螺母或高导程滚珠丝杠可用于最大限度地减少反冲,并实现±0.5–1 μm的重复定位精度。在直线电机驱动结构中,省去了中间机械传动链,从而减少了弹性变形和摩擦引起的滞后。这使得某些结构能够实现更高的加速度(超过2G)以及更快的稳定时间。
这种交叉堆叠式架构提供了紧凑的工作空间,其中X轴导轨作为Y轴的移动基座。与龙门式结构相比,其整体占地面积显著减小。每个轴都可以作为独立的标准化模块进行制造和维护,从而有助于降低系统集成成本。由于运动轴完全解耦,因此可以独立优化每个轴的静态和动态刚度。高刚性滚柱导轨或气浮轴承进一步提供了优异的抗横向载荷能力和高运动直线度。
精密XY十字线性平台广泛应用于精密点胶、微元件贴装、光学对准与检测、晶圆切割以及科研显微镜等领域。它们尤其适用于对精度、洁净度和安装空间要求较高的自动化设备。作为一种紧凑且经济高效的精密二维运动解决方案,它们为更复杂的多轴定位架构提供了一种简单可靠的替代方案。

