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Der XY-Lufttisch, auch bekannt als mehrachsiges lineares Positioniersystem, ist eine Präzisionspositionierplattform, die zwei orthogonal angeordnete Lineartische in Kreuzkonfiguration integriert. Er nutzt Wälz- oder Luftlagerführungen zur Bewegungsführung, kombiniert mit Präzisionskugelgewindetrieben oder Linearmotoren zur Betätigung. Hochauflösende Linear- oder Magnetmaßstäbe können integriert werden, um eine vollständig geschlossene Regelung für präzise zweidimensionale Linearbewegungen zu ermöglichen.
Bei kugelgewindetriebgetriebenen Konfigurationen dreht ein Servomotor die Kugelgewindespindel, während die Kugelmutter die Drehbewegung in eine lineare Verschiebung umwandelt. Vorgespannte Doppelmuttern oder Kugelgewindetriebe mit hoher Steigung können eingesetzt werden, um das Umkehrspiel zu minimieren und eine wiederholgenaue Positioniergenauigkeit von ±0,5–1 μm zu erreichen. Bei linearmotorgetriebenen Konfigurationen entfällt die mechanische Zwischenübertragungskette, wodurch elastische Verformungen und reibungsbedingte Hysterese reduziert werden. Dies ermöglicht höhere Beschleunigungen, die in einigen Konfigurationen 2 g überschreiten, sowie kürzere Einschwingzeiten.
Die kreuzweise gestapelte Architektur ermöglicht einen kompakten Arbeitsbereich, wobei die X-Achsen-Führungsschiene als bewegliche Basis für die Y-Achse dient. Im Vergleich zu Portalbauweisen wird der Platzbedarf deutlich reduziert. Jede Achse kann als unabhängiges, standardisiertes Modul gefertigt und gewartet werden, was die Systemintegrationskosten senkt. Da die Bewegungsachsen vollständig entkoppelt sind, lassen sich die statische und dynamische Steifigkeit jeder Achse unabhängig optimieren. Hochsteife Rollenführungen oder Luftlager gewährleisten zudem eine ausgezeichnete Widerstandsfähigkeit gegen Seitenkräfte und eine hohe Geradlinigkeit der Bewegung.
Präzisions-XY-Kreuzlineartische finden breite Anwendung in der Präzisionsdosierung, der Platzierung von Mikrobauteilen, der optischen Ausrichtung und Inspektion, dem Wafer-Sägen und der Forschungsmikroskopie. Sie eignen sich besonders für automatisierte Anlagen, die hohe Präzision, Reinheit und einen kompakten Platzbedarf erfordern. Als kompakte und kostengünstige Lösung für präzise zweidimensionale Bewegungen bieten sie eine einfache und zuverlässige Alternative zu komplexeren Mehrachsen-Positioniersystemen.

