Präzisionstisch

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Präzisionstisch

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Produktdetails

■Produktübersicht

Der Präzisionstisch ist eine Hochleistungs-Bewegungsplattform, die für die Ultrapräzisionsbearbeitung und fortschrittliche Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Er verwendet Naturgranit als primäres Strukturmaterial für die Basis und den Portalbalken und kombiniert diesen mit Direktantriebs-Linearmotortechnologie und einer Portalbauweise, um hochpräzise Linearbewegungen zu ermöglichen.

Die Plattform besteht typischerweise aus mehreren Hauptkomponenten: einem präzisionsgefertigten Granitsockel als primärer Referenzstruktur; vertikalen Säulen, die beidseitig am Sockel montiert sind, und einem von den Säulen getragenen Querträger, der den Portalrahmen bildet; einer oberen und einer unteren Achse, die am Querträger bzw. am Sockel angebracht und direkt von Linearmotoren angetrieben werden; sowie hochpräzisen Linearskalen für die Positionsrückmeldung und die Regelung. Ausgewählte High-End-Konfigurationen verfügen zudem über eine Dual-Drive-Architektur mit symmetrisch auf beiden Seiten der unteren Achse angeordneten Linearmotoren, um einen höheren Schub zu erzielen und Positionierfehler zu kompensieren.

Die Leistungsfähigkeit der Plattform beruht auf der Kombination einer Granitstruktur und eines linearen Direktantriebs. Granit weist geringe innere Spannungen und einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa einem Drittel desjenigen von Stahl auf, wodurch die Struktur weniger empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen ist. Der lineare Direktantrieb eliminiert mechanische Übertragungskomponenten wie Schrauben und Zahnräder und vermeidet so Spiel, elastische Verformung, Reibung und mechanischen Verschleiß, die bei herkömmlichen Antriebssystemen auftreten. Die Plattform ermöglicht zudem eine gleichmäßige Bewegung bei niedrigen Geschwindigkeiten mit minimalen Geschwindigkeitsschwankungen, ohne das bei schraubengetriebenen Systemen häufig auftretende Stick-Slip-Verhalten. Die hohe Steifigkeit und die hervorragenden Schwingungsdämpfungseigenschaften der Granitstruktur absorbieren und dissipieren effektiv die während der Bewegung entstehende Schwingungsenergie und tragen so zur Aufrechterhaltung der Positioniergenauigkeit am Achsenende bei hohen Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei. Das berührungslose Antriebsprinzip reduziert den mechanischen Verschleiß zusätzlich, verlängert die Lebensdauer und senkt den Wartungsaufwand.

Dank der Kombination aus hoher Präzision, schneller dynamischer Reaktion und Langzeitstabilität findet der Präzisionstisch breite Anwendung in Halbleiterfertigungsanlagen, der ultrapräzisen CNC-Bearbeitung, der Präzisionsmesstechnik, der Flachbildschirmherstellung, der Laserpräzisionsbearbeitung und anderen anspruchsvollen Bewegungsanwendungen.